单选题 从《PVD&CVD原理》课程学习到，PVD是一种（）、环保的薄膜沉积技术，适用于多种材料和领域，能够显著提升产品性能。

单选题 从《PVD&CVD原理》课程学习到，磁场和成膜的相对偏差有大致的对应关系，磁场强的位置，膜相对比较（）。

单选题 从《PVD&CVD原理》课程学习到，PVD的中文全称是（）。

单选题 从《PVD&CVD原理》课程学习到，PVD，是一种利用（）过程在基材表面沉积薄膜的技术。

单选题 从《PVD&CVD原理》课程学习到，影响物理气相沉积（PVD）工艺的参数众多，它们直接决定了薄膜的（）、结构和性能。

单选题 从《PVD&CVD原理》课程学习到，PVD基材清洗：目的：去除表面污染物（）、氧化物，确保薄膜附着力。

单选题 从《PVD&CVD原理》课程学习到，DEGAS的原理是通过热辐射的方式使不稳定核素释出（热脱附），去除wafer表面（）从而保证后续工艺的稳定。

单选题 从《PVD&CVD原理》课程学习到，靶材纯度越高，膜的均匀性越好，表面缺陷越（）。