单选题 安装内法兰、过渡法兰、水冷法兰时，应如何拧紧螺钉（ ）

单选题 进水、回水与外围对接需要加流量表，需要一个（ ）控制外围水的关闭。

单选题 六管管式PECVD设备电气板顶部风扇安装朝向应该是？（ ）

单选题 内热偶套管装入反应室后，套管端面伸出约（ ）mm

单选题 管式PECVD设备炉门与进气法兰之间密封圈采用哪种分水器引水冷却？（ ）

单选题 风速表应安装在PECVD炉体柜顶部哪个位置的热排？（ ）

单选题 连接内法兰与炉口进气法兰、炉尾水法兰使用的铠装软管长度为（ ）mm

单选题 将炉口炉尾内法兰安装至方法兰调节螺栓上，并使用螺钉锁紧固定，调节方法兰面调节螺栓将石英管外径和内法兰的内径的间隙在圆周上均匀一致约（ ）mm。