Scrubber原意是(　　)、Scrubber在业界被也称为什么(　　) 答案：

我司POLY和ALD⽤的是晓⼠5689处理设备，设备原理是通过(　　)激发⾼纯N2产⽣(　　) 和⾼温，结合(　　)分解与⽔溶解的过程，将制程所产⽣的废⽓，经由反应室⾼温处理，反应 成粉末或是溶解于⽔的物质，再经由过滤程序，排放⾄⼚务处理系统 

镀膜常⽤的洗涤⽅式分为(　　)和(　　)，也叫⼆合⼀处理洗涤塔 答案：

电浆头&Inlet：PDS-5689有⾼达(　　)个进⽓⼝，可⾃由搭配多种Bypass功能。进⽓⼝优 异进⽓设计，可使制程⽓体⻓时间接触⾼温离⼦焰，达成⽓体处理效率⾼达(　　)以上 

镀膜Scrubber运作流程是由机台(　　)到Scrubber进⽓⼝，(　　)经反应之后，进⾏(　　)，(　　)， (　　)脱粉再到⼚务 

Scrubber⼀段⽔洗采⽤SUS材质，具有两段⾼流量⽔洗喷嘴共计18个，通过循环⻢达， 将⽔槽内的⽔⾼压输送⾄喷嘴，达到⾼效降温与粉尘捕捉。 

三段⽔洗腔体：⽓体经过⼀⼆段⽔洗腔体，残余粉尘及⽓体进⼊三段⽔洗腔体，进⾏最后 ⼀次⽔洗过滤。此腔体有上下两层洒⽔组件，下层为循环⽔，搭配间隙更⼩的过滤⼦，进⾏ 粉尘捕捉，上层为⼲净的RO⽔，冲洗过滤⼦上的粉尘，经过⼤量⽔洗冲刷，使粉尘不易附 着于过滤⼦表⾯，延⻓PM周期。

在制造业中的⼚区可以不使⽤到达TLV-TWA容许浓度，TLV（ThresholdLimitValve）， TWA（TimeWeightAverage）要求的Scrubber设备进⾏处理特殊⽓体。 

在Scrubber设备⽇常运⾏中，出现电浆头电流过低，功率达不到的情况。可直接改⼤纯氮 的流量。进⾏强制点⽕处理！